臭氧的化學(xué)性質(zhì)極不穩定，在空氣和水中都會(huì )慢慢分解成氧氣，其反應式為：

? ? ? 2O3 → 3O2 + 285kJ ? ? ? ? ? ?

由于分解時(shí)放出大量熱量，故當其含量在25%以上時(shí)，很容易爆炸。但一般臭氧化空氣中臭氧的含量很難超過(guò)10%，在臭氧用于飲用水處理的較長(cháng)歷史過(guò)程中，還沒(méi)有一例氧爆炸的事例。

含量為1%以下的臭氧，在常溫常壓的空氣中分解半衰期為16h左右。隨著(zhù)溫度的升高，分解速度加快，溫度超過(guò)100℃時(shí)，分解非常劇烈，達到270℃高溫時(shí)，可立即轉化為氧氣。臭氧在水中的分解速度比空氣中快的多，在含有雜質(zhì)的水溶液中臭氧迅速回復到形成它的氧氣。如水中臭氧濃度為6.25×10-5mol/L（3mg/L）時(shí)，其半衰期為5～30min，但在純水中分解速度較慢，如在蒸餾水或自來(lái)水中的半衰期大約是20min（20℃），然而在二次蒸餾水中，經(jīng)過(guò)85min后臭氧分解只有10%，若水溫接近0℃時(shí)，臭氧會(huì )變得更加穩定。

臭氧發(fā)生器是制取臭氧化氣體的專(zhuān)用設備，

臭氧發(fā)生器是產(chǎn)生臭氧所必需的裝置，主要包括臭氧發(fā)生裝置和電源裝置兩大部分，涉及機械、電氣電子、材料、自動(dòng)化、化工、化學(xué)等多門(mén)科學(xué)。大多臭氧發(fā)生器的產(chǎn)生臭氧的原理為氣隙電暈放電，即是利用高速電子轟擊干燥的含氧氣體，將氧分子其分解成氧原子，緊接著(zhù)通過(guò)三體碰撞反應形成臭氧。

? ? 臭氧設備有自身的穩定性，但是在長(cháng)期不使用的情況下會(huì )產(chǎn)生電路、機械等老化，但不至于很快不能使用